PFPE Vacuum pump oils series
(CL2-06 /CL2-14/CL3-16/CL3-25/CH3-25/CH4-40)
パーフルオロポリエーテル(PFPE)は、炭素、酸素、フッ素の3つの元素からなるポリマー鎖である。いずれも真空ポンプで潤滑剤として働く材料の能力に大きく貢献している。水素ガスの欠乏はPFPE増強の熱酸化安定性をさらに促進する。
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