ArF 光酸発生剤、KrF 光酸発生剤、フォトレジスト樹脂及び主要中間体に特化、先端半導体製造を支える

先端材料が半導体産業の未来を牽引

AI（人工知能）、高性能コンピューティング（HPC）、先端パッケージ、高帯域幅メモリ（HBM）、先端ディスプレイ技術の急速な発展に伴い、半導体業界では高性能リソグラフィ材料の需要が急拡大しています。

CHEMFISH は長年にわたり先端電子材料・ファインケミカルサプライチェーンサービスを専門に展開してきました。半導体リソグラフィ材料に継続的に投資を重ね、ArF 光酸発生剤、KrF 光酸発生剤、フォトレジスト樹脂、光開始剤（PI）、機能性モノマー、核心中間体を網羅した充実の製品ラインナップを構築。半導体製造、先端パッケージ、ディスプレイパネル製造、電子材料分野向けに、オーダーメイド型の専門ソリューションを提供しています。

PAG（光酸発生剤）とは

PAG（Photoacid Generator＝光酸発生剤）は、現行フォトレジストシステムに欠かせない機能性材料です。

波長 193nm（ArF）または 248nm（KrF）で露光する際、PAG が光エネルギーを吸収し強酸を発生。この酸が化学増幅反応を引き起こし、ナノスケールの微細パターン転写を実現します。

PAG の作用メカニズム

紫外線照射 → PAG が光を吸収 → 酸を生成 → 化学増幅反応 → パターン形成

製品ラインナップ

ArF 光酸発生剤（ArF PAG）

193nm 先端リソグラフィプロセス向けに開発された光酸発生剤です。

主な用途

*  DRAM

*  NAND フラッシュ

*  ロジックデバイス

*  先端パッケージ

代表製品（CAS 番号）

912290-04-1

1228823-28-6

1465790-38-8

1146597-81-0

1638216-03-1

使用メリット

*  高解像性

*  優れた線幅制御性

*  先端ロジックノードプロセスと適合

*  先端パッケージプロセスに対応

対応分野：

DRAM 

/ NAND フラッシュ 

/ 先端パッケージ 

/ ディスプレイ

KrF 光酸発生剤（KrF PAG）

248nm リソグラフィプロセス向けに開発された光酸発生剤です。

主な用途

*  パワー半導体

*  アナログ IC

*  MEMS

*  ディスプレイドライバ IC（DDIC）

代表製品（CAS 番号）

84563-54-2

194999-85-4

66003-78-9

144317-44-2

※84563-54-2：ビス (4-tert - ブチルフェニル) ヨードニウムトリフルオロメタンスルホン酸塩。KrF フォトレジストシステムで広く採用されています。

フォトレジスト樹脂

*  CHEMFISH が取り扱う樹脂製品一覧

*  PHS 樹脂

*  アクリル樹脂

*  BARC 樹脂（反射防止膜樹脂）

*  機能性共重合体樹脂

*  化学増幅型レジスト樹脂

主な用途

*  ArF フォトレジスト

*  KrF フォトレジスト

*  ディスプレイ用フォトレジスト

*  先端パッケージ

光開始剤（PI）

主な用途

*  LCD

*  OLED

*  UV 硬化システム

*  光学フィルム

*  電子材料

代表製品（CAS 番号）

253585-83-0

82424-53-1

852246-55-0

1138028-44-0

機能性モノマー・主要中間体

機能性モノマーと主要中間体は、各種先端リソグラフィ材料を合成するための基礎原料となります。

代表製品（CAS 番号）

959312-47-1

133710-62-0

1227375-90-7

1035539-18-4

主な用途

*  フォトレジスト合成

*  機能性高分子

*  電子材料

適用分野

半導体製造

*  ロジックデバイス

*  DRAM

*  NAND フラッシュ

*  CMOS イメージセンサ（CIS）

先端パッケージ

ファンアウトパッケージ

ウエハレベルパッケージ（WLP）

2.5D パッケージ

3D パッケージ

ディスプレイ材料

*  LCD

*  OLED

*  Micro LED

光学材料

*  光学フィルム

*  UV コーティング

*  機能性コーティング

対応製品群：DRAM、NAND フラッシュ、ロジック、先端パッケージ、ディスプレイ

CHEMFISH を選ぶ理由

豊富な製品ラインナップ

リソグラフィ関連材料を 100 種類以上取り揃え

厳格な品質管理

*  半導体グレード品質管理システムを構築

*  微量金属不純物を厳しく規格管理

充実した技術サポート

*  TDS（技術データシート）、SDS（安全データシート）、COA（分析証明書）を提供

*  無料サンプル供給サービスを実施

グローバルサプライチェーンネットワーク

日本、中国本土、韓国、中国台湾、欧州、米国に拠点を展開

受託研究開発サービス

*  機能性モノマーの受託合成

*  オーダーメイド型 PAG 開発

*  フォトレジスト樹脂の仕様最適化

CHEMFISH について

CHEMFISH は先端電子材料、半導体薬品、フッ素化学品、ファインケミカルを専門とする国際的サプライチェーン企業です。

事業対象分野

*  半導体製造

*  先端パッケージ

ディスプレイ産業

*  電子材料

*  蓄電デバイス

世界中のお客様に高純度特殊材料と専門的な技術サポートを安定供給することを使命としています。